产品详情
晶圆卡匣/铁氟龙卡匣/TeflonCassette/PFA Cassette
介绍
铁氟龙卡匣为承载半导体晶圆片的容器，可依照客户需求设计，耐高温200~220℃，适用在需耐高温条件下防黏和耐化学性领域，例如强酸、强氟酸、强碱，可应用于FABRICATION厂内之酸碱制程中使用、传送晶圆。
*进入化学酸、碱蚀刻制程中，可搭配铁氟龙手把使用。
规格
Product name 产品名称 | 晶圆卡匣/铁氟龙卡匣/Teflon Cassette/PFA Cassette |
Material 组成材质 | PFA |
Color 颜色 | Original本色 |
Size 尺寸 | 4”- 25slot 6”- 25slot 8”- 25 slot 12”-13slot |
Cassette卡匣依材质特性的选择参考： | |||||||||||||||||||||
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