晶圆传输盒/前开式晶圆传送盒/晶圆传送盒/FOUP(再生使用)
介绍
可保护、运送、并储存晶圆,在运输传载及储存时提供安全防护。有效降低晶圆受到微尘污染的风险,避免晶圆受静电损害,进而促进良率。
FOUP有稳定且精准的空间特性,具有耐磨耗晶圆支撑器、wafer防滑动supporter设计和可透视窗口,尺寸符合SEMI规范,提供高洁净度之晶圆承载与自动化解决方案。
*产品已经由专业清洗可再生使用。
规格
Product name 产品名称 | 晶圆传输盒 / 前开式晶圆传送盒/晶圆传送盒/Foup/
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Material 组成材质 | PC+PEI+ABS+ESD |
Color 颜色 | Multi color 多色
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Size 尺寸 | 12”- 25 slot |